Invar Foil

FMM（Fine Mental Mask）for AMOLED，目前OLED面板量產的主流方法是真空蒸鍍，需使用精密金屬遮罩（Fine Metal Mask；FMM）蒸鍍（Evaporation）技術，在乾式製程中運用遮罩將 RGB 三種光色分子分別附著於狹小的區域中。應用於大尺寸面板時，大尺寸Mask在蒸鍍製程中易產生變形與材料過度使用等弊病，維持平坦的表面是製程相對較難的精密金屬遮罩的關鍵技術。利用Invar材料（為一種鎳鐵合金），其特有的低熱膨脹係數（CTE）)與高模量且極薄及超平整度等特性來製作FMM，可有效解決FMM 在大型面板因加工中產生的熱，造成金屬面罩彎曲及孔位對位不正等問題。